Растворы хлорида трехвалентного железа (хлорного железа) используются в качестве травителей для меди, медных сплавов, никелево-железных сплавов и стали при производстве компьютеров, электроники, фотолитографии и чистовой обработке металла. Текущее использование травителей на основе хлорида трехвалентного железа при производстве печатных плат сильно ограничено из-за дороговизны удаления медесодержащего травителя и большей промышленной поддержки применения травителей на основе аммиака и хлорида двухвалентной меди. Однако его все еще широко применяют для травления сплавов и фотохимической обработки.
Хлорид трехвалентного железа (хлорное железо) может использоваться с защитными красками, фоторезистом и золотом, однако его нельзя применять с оловянными или оловянно-свинцовыми резистами. Тем не менее хлоное железо отлично подходит для травления опрыскиванием из-за простоты применения, способности накапливать медь и возможности частого применения в циклических операциях.
Состав травителя на основе хлорного железа представляет собой хлорид трехвалентного железа, разбавленный в воде с концентрацией 28—42% от общей массы. Присутствие свободных кислот объясняется реакцией гидролиза и необходимостью поддержания кислотной среды. Естественная кислотность обычно дополняется добавлением HCl (максимум 5%-ной), чтобы воспрепятствовать образованию нерастворимых осадков гидроксида трехвалентного железа. Технические формулы для травления медных сплавов обычно составляют 36 °Боме, или приблизительно 0,04 кг/м3 FeCl3, также могут присутствовать пеногаситель и смачивающие вещества. Обычно в реакцию вступает 1,5—2,0% от общего содержания HCl.